装备制造业一向是我国集成电路产业的薄弱环节。目前，我国每年进口集成电路总额超过1000亿美元，与进口石油的金额相当，而装备业的落后正是限制我国集成电路产业快速发展的重要原因。沈阳芯源微电子设备有限公司是中科院沈阳自动化研究所于2002年发起成立的高新技术企业，目前自动化所占有该公司71%的股份。正是由于认识到装备制造在产业链中所具备的不可替代的作用，自动化所把集成电路装备业列为战略性项目。目前，芯源微电子的主营业务是集成电路装备的研发、制造、销售及相关服务，主要产品是集成电路制造所需的匀胶/显影机。

    技术引进与自主创新并行

    集成电路芯片生产中共需要150多种设备，其中，匀胶/显影机是集成电路制造核心设备——— 光刻机的配套设备，匀胶/显影机的费用占所有生产设备投资的12%～13%。2002年，芯源微电子从国外引进了匀胶/显影机的生产技术和相关样机，并在引进国际先进技术的基础上，消化吸收、创新提高，目前已经拥有多项专利并形成了系列产品，包括全自动模块式、紧凑型、轨道式、手动独立式等设备，以适应不同层面的客户需求，并广泛应用于光刻、制版、擦片、清洗、湿法刻蚀、高端封装和各种薄膜旋涂工艺，可满足200mm、0.25μm前道工艺和直径达300mm的高端封装厚胶工艺的要求。

    目前，芯源微电子的产品在国内市场已经具有一定的竞争力。该公司总经理助理徐春旭在接受《中国电子报》记者采访时表示，从2004年开始，芯源微电子已经销售集成电路制造设备32台，其中28台销往国内市场。2006年11月，芯源微电子销售到中芯国际的产品全部通过客户验收，并于次年1月被中芯国际评为最佳供应商；2007年4月，芯源微电子与江阴长电签订了12英寸先进封装设备的销售合同，实现了国产半导体设备的重大突破。此外，芯源微电子的产品也被应用于国内一些4英寸、5英寸或6英寸的特殊芯片生产企业，以及研究所、军工企业和大型实验室。

    芯源微电子的另一个成就是建立了相对完整的配套供应链，设备零部件的国产化率大幅度提高。以零件数量计算，国产化率达到80%～90%；以零件价值计算，国产化率也能达到60%。

    从技术角度而言，当芯源微电子刚进入半导体装备制造行业的时候，国内的最高水平只相当于国外上世纪70年代末至80年代初的水平，而目前芯源微电子的部分技术已经达到国外上世纪90年代末至本世纪初的水平。

    从长远来看，芯源微电子的目标是由目前为客户提供单台集成电路制造设备转化为提供整套设备解决方案，比如对硅片的处理，从清洗到匀胶、显影，再到湿法刻蚀，芯源微电子为客户提供一整套的解决方案及相关设备，这样更有利于争取市场，但这需要对半导体工艺的发展方向及技术进步进行跟踪。

    技术团队是核心价值所在

    在人力资源方面，芯源微电子也建立起了一支实力雄厚的技术团队。目前，该公司有员工约70人，其中绝大多数为技术人员。徐春旭告诉《中国电子报》记者，技术团队是芯源微电子核心价值的体现，芯源微电子的技术团队体现了不同层次人才的合理配置。就高端人才而言，芯源微电子加强与海外技术专家的联系，在美国、日本、韩国、新加坡及我国台湾地区都聘请了一些技术顾问，每年定期或不定期地邀请他们到公司来进行技术交流，解决一些技术问题。

    沈阳作为一个老工业基地，在机械、电子、电器及软件方面具有丰富的人才资源，结合公司掌握的核心技术，芯源微电子组建了设备研发的技术团队，目前芯源微电子的机械工程师、电器工程师、软件工程师及工艺工程师都有丰富的经验。此外，沈阳本地也拥有优秀的产业工人，为产品生产提供了保障。芯源微电子的另一个优势是依靠中科院沈阳自动化研究所，自动化所可以在技术、人才等方面为该公司提供有力的支持。

    徐春旭表示，芯源微电子的成果也得到科学技术部和行业协会的认可，尤其得到各方赞赏的是芯源微电子的产品能迅速地走向市场，所有款项都能快速地收回，这就形成了良性循环，有利于企业的健康成长。